TC-Wafer校准仪
一、TC-Wafer产品简介及用途
TC-Wafer校准仪，是一款专注晶圆温场均匀性测量的仪器。
适配市场上如JouleYacht，德国UNITEMP、韩国ULTECH、法国ANNEALSYS、日本ADVANCE等大多数主流厂家生产的RTP设备。
二、TC-Wafer性能特点
测温准确：温度偏差在±1.1℃以内、采集周期为200ms，能准确测量晶圆温场均匀性；
使用便捷：仪器集成度高，即插即用。测试记录完整数据，并能自动生成测试报告，支持U盘、蓝牙、无线网络等多种方式导出数据和报告；
显示直观：最多支持20路实时测量(20路以上可定制)，显示实时点位图及温度分布图，可在使用过程中实时观察各点温度变化；
功能强大：10000条历史数据存储量，能以图表形式调阅历史温度和均匀性数据。可做同一台设备不同时间段、以及不同设备同一配方的数据对比；
便携易维护：便携一体化设计，配备磁吸支架可贴靠于RTP表面， Type-C接口65W速充，可迅速更换TC-wafer。
三、TC-Wafer主要技术参数
项目 | TC-20 | TC-10 |
使用范围 | 室温~ 1500℃(更高温可定制) | |
晶圆尺寸 | 6吋 ~12吋 | 2吋 ~12吋 |
热电偶测温点数 | 1 ~ 20 | 1 ~ 10 |
热电偶类型 | K型 | |
支持热电偶类型 | J型、K型、T型、E型、R型、S型、B型、N型 | |
屏幕 | 13寸、分辨率：2880*1920 | 10寸、分辨率：1920*1280 |
数据采集速率 | 100ms ~ 450ms | |
四、TC-Wafer应用功能
半导体制造工艺调校
RTP设备的测试、验证
TC-Wafer的测试、验证
相关晶圆热处理设备的测试、验证,如CVD,PVD,Photo,等等
五、应用案例展示
六、产品视频展示
这里传个视频或其他想展示的内容
七、合作高校展示
八、企业实力
