薄膜热导率测试系统 TCT
一、产品简介及用途
薄膜热导率测试系统 TCT 是采用 3ω测试方法，利用微/纳米薄膜材料导热引起加热器电信号的变化来检测其热导率。主要应用范围为微/纳米薄膜材料的热导率测量，可广泛应用于辅助各种功能薄膜材料的研究与开发，其涵盖范围包括集成电路散热材料、热阻材料、热电材料、信息存储与光电材料等。
二、产品性能特点
采用3ω测试方法，利用微/纳米薄膜材料导热引起加热器电信号的变化来检测其热导率
不直接测量温度变化，而是通过测量材料在导热过程中温度的变化转换为电信号的变化，来实现微/纳米薄膜材料的热导率测试
采用交流电加热方式，同时选择并优化设计加热电极的形状与尺寸，可确保加热均匀性及测试应用的广泛性
待测薄膜样品材料尺寸极小，所以能有效减小黑体辐射引起的测量误差
高精度数字源表并结合锁相放大技术，保证测量结果的准确性
优化的加热电极的形状与尺寸设计，可保证加热均匀性及测试应用的稳定性
……
三、主要技术参数
设备型号 | TCT-3RT | TCT-3 |
温度范围 | 室温 | 室温-500K |
测量范围 | 0.1-10W/（m•K） | |
测量精度 | ≤±5%（Si衬底） ≤±10%（其他衬底） | |
测试气氛 | 真空 | |
样品尺寸 | 长度：5mm-10mm 宽度：5mm-10mm 薄膜厚度：≥10nm | |
四、应用功能
TCT广泛应用于辅助各种功能薄膜材料的研究与开发，其涵盖范围包括高等院校及科研院所、集成电路散热材料、航空航天材料、热电材料与器件、信息存储与光电器件等。
五、应用案例展示
六、视频展示
这里传个视频或其他想展示的内容
七、合作校企
清华大学 | 北京科技大学 |
华中科技大学 | 上海交通大学 |
QueenMary University of London | 中国石油大学 |
中科院上海微系统所 | 国防科技大学 |
福建省特检院 | 中科院化学研究所 |
武汉市质量技术监督局 | 湖北出入境检验检疫局 |
福耀玻璃 | 神龙汽车有限公司 |
武汉铁路局 | 湖北新冶钢有限公司 |
