晶圆探针台LNP
一、产品简介及用途
高低温探针台(LNP）系列，为小尺寸样品测量电特性，提供高精度可控的测量环境，帮助精准测量和分析判断晶圆器件的性能。可以实现基础测试、保护气氛电路测试、高低温真空探针台、超高频探针台、光电流分析、FA失效分析等测量和分析平台。
二、性能特点
● 产品功能：高低温探针台为小尺寸样品测量电特性，提供高精度可控的测量环境；
● 使用范围：帮助精准测量和分析判断晶圆器件的性能。
● 应用领域：提供材料/器件的IV/CV特性测试，LD/LED/PD的光强/波长测试，射频特性器件失效分析，芯片内部线路/电极/PAD测试等技术解决方案；
● 定制服务：定制样品台和测量方式；
● 自动控温：PID自整定连续多点控温。
三、主要技术参数
设备型号 | LNP-3 |
温度范围 | -190~400℃ |
控温精度 | ±0.1℃ |
真空度 | 机械泵≤10Pa，分子泵≤5.0 e-3Pa |
探针臂数量 | ≤6 |
XYZ轴行程 | 50mm*25mm*25mm |
移动精度 | 2um |
探针类型 | 钨探针（类型可选） |
接头类型 | BNC/鳄鱼夹/接线端子 |
四、应用功能
● 提供材料/器件的IV/CV特性测试；
● LD/LED/PD的光强/波长测试；
● 射频特性器件失效分析；
● 芯片内部线路/电极/PAD测试：
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高低温探针台可实现精准可靠的测试与测量分析，帮助精准测量和分析判断晶圆器件的性能。
五、应用案例展示
六、视频展示
这里传个视频或其他想展示的内容
